Штучний інтелект

Науковий журнал

ISSN 2710-1673

ONLINE: ISSN 2710-1681

Шукати за:

Роком видання
Автором
Назвою статті

Моделювання процесів фотолітографії на суперкомп’ютері СКІФ К-1000

Дудкін А.А.1, Інютін А.В.2, Отвагін О.В.2
1 United Institute of Informatics Problems of the National Academy of Sciences of Belarus
2 Об’єднаний інститут проблем інформатики НАН Білорусі

Повний текст (PDF)

УДК: 535.317:004.22
Мова публікації: Російська
Stuc. intelekt. 2008; 13; (4):348-352

Анотація: Розроблена паралельна реалізація моделювання процесів фотолітографії для застосування на суперкомп’ютері СКІФ К-1000. Використання паралельних засобів обчислення дозволило одержати добрі результати з прискорення процесу формування зображення в шарі фоторезиста і подальшого автоматичного контролю оригіналів топології.

Ключові слова:

Посилання:

Переглянути повний текст статті (PDF)